日常生活になくてはならない半導体をつくり出す装置
半導体露光装置
自動車やスマートフォン、家電など、私たちの生活になくてはならない機器にはたくさんの半導体が使われています。生成AI向けや自動運転向けの半導体を中心に、需要はますます増加しています。長浜キヤノンでは新たな事業として、2018年より半導体露光装置のユニット生産を開始しました。
半導体露光装置のしくみ
半導体露光装置は、ウエハーに微細な回路パターンを露光する装置です。装置の中は、露光に適した明るく均一な光を作る照明系、レチクル（原版）を置くレチクルステージ、レチクルを入れ替えるレチクルチェンジャー、何枚ものレンズ群からなる投影光学系、露光されるウエハーを置くウエハーステージ、ウエハーの搭載位置を計測するアライメントスコープに分けられます。
クリーンルームで組み立てる超精密パーツ
長浜キヤノンではレチクルチェンジャーをはじめ、半導体露光装置の主要ユニットを生産しています。大きいユニットでは数日かけて一台のユニットを完成させます。組立職場は、ミクロン単位の精度が求められる仕事だからこそ、主役は“人”です。一人ひとりの技術力と集中力が、最先端の半導体製造を支えています。
