IoT時代の到来により多様化が進む半導体チップ。
自動車や通信機器向けなど、市場の拡大によってますます高まる半導体チップの需要に、高い生産性で貢献しています。
半導体デバイスの製造で最重要な工程となるのが、原画となる回路パターンを転写するリソグラフィ工程。この工程の主要部分を占めるのが露光機。 キヤノンでは、半導体デバイス以外の用途にも展開可能な露光機群を取り揃えています。
FPA-6300ES6a
高生産性KrFスキャナー
FPA-5550iZ2
高生産性スキャナーミックスアンドマッチ対応
i線ステッパー